SMEE отчиталась о 90% локализации литографов SSC800 и SSB800: 10 млн пластин и иллюзия суверенитета
Shanghai Micro Electronics Equipment Group выкатила на CIIE в Шанхае отчет о массовом выпуске литографических сканеров SSC800 и SSB800 с заявленной локализацией компонентов на уровне 90%. Десять миллионов обработанных кремниевых пластин.
Пластин, разумеется, хватает только на зрелые узлы. SSC800 работает на KrF-лазере и тянет техпроцессы от 110 нм, закрывая потребности в чипах для HPC, памяти и автомобильной электроники. SSB800 с i-line излучением лезет в сегмент 280 нм для силовой аналоговой электроники и MEMS. Производительность и оверлей якобы приблизились к зарубежным аналогам соответствующего класса, а доступность оборудования превышает 92%. Это звучит как триумф, пока не вспомнишь, что SMEE работает с 2002 года и до сих пор остается единственным в КНР поставщиком серийных установок сухой проекционной литографии. Американский Entity List с декабря 2022 года лишь подстегнул нарратив о технологическом суверенитете, заставив форсировать разработку собственной проекционной оптики, систем освещения и прецизионных двойных платформ. Но дьявол, как всегда, кроется в метрологии и стабильности партии к партии, о чем в пресс-релизах традиционно умалчивают.
Умалчивают обычно о самом болезненном: 28-нанометровом сканере SSA/800-10W, информацию о котором Zhangjiang Group сначала слила в WeChat, а затем поспешно отредактировала, вычистив упоминание техпроцесса.
Техпроцесса, освоенного TSMC еще в 2011 году, в реальных китайских fab-линиях до сих пор не видно. Источники твердили о подготовке этой машины еще с лета 2023 года, но реальных доказательств массового производства так и не предъявлено. TSMC и SMIC в свое время решили эту задачу, используя готовые сканеры нидерландской ASML. Китайская же альтернатива пока существует скорее в виде отчетов для кураторов, чем в виде загруженных в fab линий реальных инструментов.
Инструментов, способных физически конкурировать с иммерсионными DUV-системами, у Пекина по-прежнему нет.
Никита Карпов
Главный редакторПишу о гаджетах, нейросетях и том, как технологии меняют нашу жизнь. Проверяю всё на себе, чтобы вы не тратили деньги зря.